Физические основы микроэлектроники. В. Тупик, Валентин Жабрев, В. Марголин
1054 руб
Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Из серии: Высшее профессиональное образование (Академия), Высшее профессиональное образование (Academia)
2008