Накупить товаров
в интернет-магазине!
в интернет-магазине!
| Главная | Каталог |
» Каталог
» Книги » Технические и естественные науки » Естественные науки » Физико-математические науки » Физика
Каталог товаров:
 |
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников1197 руб
Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Воспроизведено в оригинальной авторской орфографии издания 1982 года (издательство "Радио и связь"). Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений. 2012 |