Рассмотрены становление нанометрологии в XX-XXI вв. Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. и концепции ее развития. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям - поверке и калибровке. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008-2009 гг. Для ученых, инженеров и других специалистов, разрабатывающих проблемы нанометрологии. 2011